| 產地類別 | 國產 |
|---|
TF1200-PECVD型等離子增強化學氣相沉積系統(tong)
PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor
Deposition) 等離子體增強化學氣相沉積法
等離子增強化學氣相沉(chen)積系統
設備介紹：
本設備(bei)是借(jie)助射頻等使(shi)含有(you)薄膜組成(cheng)原子(zi)的氣體(ti)電離，在(zai)局部形成等離子體(ti)，而等離子體(ti)化學活性(xing)很(hen)強，很(hen)容易發生反(fan)應(ying)，在(zai)基片(pian)上沉積出所期望的薄膜。為了(le)使化學反(fan)應(ying)能在(zai)較(jiao)低的溫度下進(jin)行(xing)，利用(yong)了(le)等離子體(ti)的活性(xing)來促進(jin)反(fan)應(ying)，因而這(zhe)種CVD稱為等離子體(ti)增強化學氣相(xiang)沉積(PECVD)。
產(chan)品簡介：
此款設備配有Plasma實現等離子增(zeng)強，滑軌式(shi)設計在(zai)(zai)操作時(shi)可(ke)將(jiang)實驗需要的恒定高溫(wen)(wen)直接(jie)推(tui)到樣(yang)品處，使樣(yang)品能得(de)到一個快速(su)的升溫(wen)(wen)速(su)度，同樣(yang)也可(ke)將(jiang)高溫(wen)(wen)的管式(shi)爐直接(jie)推(tui)離樣(yang)品處，使樣(yang)品直接(jie)暴露在(zai)(zai)室(shi)溫(wen)(wen)環境下，得(de)到快速(su)的降溫(wen)(wen)速(su)率。并(bing)可選配氣氛(fen)微調裝置，可準確的(de)控制反應(ying)腔體(ti)內部的(de)氣體(ti)壓(ya)力，帶刻度(du)的(de)調節(jie)閥(fa)對于(yu)做(zuo)低壓(ya)CVD非常簡(jian)單(dan)實用，工藝重復性好，對于石墨烯生長工藝非常合適(shi)，也同樣適(shi)用于要求快(kuai)速升(sheng)降溫(wen)的CVD實驗(yan)。
主(zhu)要組成系(xi)統及特點：
本設備主要由(you)管式加熱爐體，真空系統，質子流量(liang)供氣系統，射頻等離子源，石英反應腔室等部件組(zu)成(cheng)。
主要特點：
1、通過射頻電源(yuan)把石英真空室內的(de)氣體(ti)變為離子(zi)態。
2、PECVD比普通CVD進行化學氣相沉積(ji)所需的溫度(du)更低。
3、可以通(tong)過射(she)頻電源的頻率來控(kong)制所沉積薄膜(mo)的應力大小。
4、PECVD比普通CVD進(jin)行化學氣(qi)相沉積速率(lv)高、均勻性好、*性和穩定性高。
5、廣(guang)泛應(ying)用于：各種(zhong)薄(bo)膜(mo)的(de)生長(chang)，如(ru)：SiOx, SiNx, SiOxNy 和無(wu)定(ding)型硅(gui)(a-Si:H) 等。
開啟式真(zhen)空管式爐技術參數 | |||||
| 石英管尺寸 | L1400mm *（根據(ju)需求選(xuan)擇不同(tong)直徑的(de)石英管作為反應室。有Φ40，Φ60，Φ80，Φ100，Φ120，Φ150等(deng)規格可選(xuan)。） | |||
加熱元件 | 摻(chan)鉬(mu)鐵鉻(ge)鋁(lv)合金電阻絲 | ||||
測溫(wen)元(yuan)件 | K型(xing)熱(re)電偶 | ||||
加熱(re)區長度 | 400mm | ||||
恒溫(wen)區長度(du) | 200mm | ||||
工作溫度(du) | ≤1100℃ | ||||
控溫模式(shi) | 模糊PID控制(zhi)和(he)自整(zheng)定調節，智(zhi)能化30段可編(bian)程控制(zhi)，具有(you)超溫和(he)斷偶報警功能 | ||||
控溫精度(du) | ±1℃ | ||||
升(sheng)溫速率 | ≤20℃/min | ||||
電功率 | AC220V/50HZ/3KW | ||||
質(zhi)量供氣系統(tong)技(ji)術參(can)數（根(gen)據需求(qiu)選擇多路(lu)(lu)(lu)質(zhi)子流量供氣系統(tong)。有兩(liang)路(lu)(lu)(lu)GQ-2Z，三路(lu)(lu)(lu)GQ-2Z，四路(lu)(lu)(lu)GQ-2Z，五路(lu)(lu)(lu)GQ-2Z或(huo)更多路(lu)(lu)(lu)供選擇。） | |||||
| 外形(xing)尺寸 | 600x600x600mm | |||
標準(zhun)量程 | 50sccm（CH4）、200sccm（H2）、500sccm（Ar、N2）； | ||||
數顯壓力表測量范(fan)圍(wei) | -0.1Mpa～0.15Mpa | ||||
極限壓(ya)力 | 3MPa | ||||
針閥 | 316不銹鋼 | ||||
截止閥 | Φ6mm 316不銹鋼針閥(fa) | ||||
電功率 | AC220V/50HZ/20W | ||||
響應時(shi)間 | 氣(qi)特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec | ||||
準確(que)度 | ±1.5% | ||||
線性(xing) | ±0.5～1.5% | ||||
重復精度 | ±0.2% | ||||
接(jie)口(kou) | Φ6,1/4'' | ||||
真(zhen)空(kong)系(xi)統技術參數（根據需求選擇不(bu)同真(zhen)空(kong)效果的(de)真(zhen)空(kong)系(xi)統。有DZK10-1（極(ji)限(xian)真(zhen)空(kong)0.1Pa），GZK10-3（極(ji)限(xian)真(zhen)空(kong)0.001Pa），以及進口高真(zhen)空(kong)機(ji)組（極(ji)限(xian)真(zhen)空(kong)0.0001Pa）供選擇。） | |||||
| 外型尺寸(cun) | 600×600×600mm | |||
工(gong)作電(dian)電(dian)壓 | 220V±10% 50~60HZ | ||||
功率 | 400W | ||||
抽氣速率(lv) | 4Ls | ||||
極限真(zhen)空 | 4X10-2Pa | ||||
實驗(yan)真空(kong)度 | 1.0X10-1Pa | ||||
容(rong)油量(liang) | 1.1L | ||||
進氣(qi)口口徑 | KF25 | ||||
排氣口口徑(jing) | KF25 | ||||
轉(zhuan)速 | 1450rpm | ||||
射(she)(she)頻(pin)電(dian)源（根(gen)據需求選擇強度不同的射(she)(she)頻(pin)電(dian)源。有(you)DLZ300（300W），DLZ500（500W）或更大功(gong)率的射(she)(she)頻(pin)電(dian)源供選擇） | |||||
| 信(xin)號頻(pin)率 | 13.56 MHz±0.005% | |||
功率輸(shu)出(chu)范圍 | 5-300W 5W-500W可選(xuan) | ||||
最大反射功(gong)率 | 200W | ||||
射頻輸(shu)出接口 | 50 Ω, N-type, female | ||||
功率(lv)穩(wen)定度 | ±0.1% | ||||
諧波分量 | ≤-50dbc | ||||
供電(dian)電(dian)壓 | 單相交流（187V-253V） 頻率(lv)50/60HZ | ||||
整機(ji)效率 | >=70% | ||||
功率因素 | >=90% | ||||
冷卻方式 | 強制風冷 | ||||
艾科(ke)迅部分(fen)客戶（CVD及(ji)PECVD及(ji)管式爐系列）
等離子(zi)增強化學氣相(xiang)沉積系統 常見PECVD系統(tong)組合 1. 1200度(du)60滑(hua)軌式(shi)(shi)微型管式(shi)(shi)爐，低真空系統(tong)，四路質子流量供氣系統(tong)，300W射頻電源 |
TF1200-60S-SL，DZK10-1，GQ-4Z，DLZ300 |
2. 1200度60滑(hua)軌式(shi)管式(shi)爐(lu)，低真空(kong)系統，四(si)路質子流量供氣系統，500W射頻電(dian)源 |
TF1200-60-SL，DZK10-1，GQ-4Z，DLZ500 |
3. 1200度(du)60雙溫區滑軌式管式爐(lu)，低真空系(xi)(xi)統(tong)，四(si)路質子(zi)流量供(gong)氣系(xi)(xi)統(tong)，500W射頻電源 |
TF1200-60II-SL，DZK10-1，GQ-4Z，DLZ500 |
4. 1200度60三溫區滑軌式(shi)管式(shi)爐，低真空系(xi)統(tong)，四路質子流量供氣系(xi)統(tong)，500W射頻電(dian)源 |
TF1200-60III-SL，DZK10-1，GQ-4Z，DLZ500 |
5. 1200度60微(wei)型預(yu)熱爐，1200度60滑軌式管式爐，低真空系(xi)統(tong)，四路質(zhi)子流量供氣系(xi)統(tong)，500W射(she)頻(pin)電源 |
TF1200-60S，MXG1200-60-SL，DZK10-1，GQ-4Z，DLZ500 |
上海交通大學 | 上海理工大學(xue) | 華(hua)東師范大(da)學 | 上海(hai)海(hai)洋大學 |
同(tong)濟大學 | 上海電力大學 | 上海工程技(ji)術大學(xue) | 華(hua)東理工(gong)大學 |
清華大學(xue) | 復旦大(da)學 | 重慶大學 | 貴州(zhou)大學 |
濟(ji)南大學 | 青(qing)島大(da)學 | 吉(ji)林大學 | 香港大學 |
江南大學 | 湖北大學 | 北(bei)京科技大學(xue) | 廣西師范(fan)大學 |
華南師范大(da)學 | 山東(dong)理工大學 | 華南農(nong)業(ye)大學 | 河南農業大學 |
沈陽航天航空大學(xue) | 哈爾濱(bin)工業大學(xue) | 湘潭大學 | 贛南師范學(xue)院 |
四川大學(xue) | 華(hua)僑大(da)學 | 蘇州大學 | 安徽醫(yi)科大學 |
浙江(jiang)大學 | 南(nan)京理工(gong)大學 | 西(xi)北工業大(da)學 | 西(xi)安交通大學 |
蘭州大學 | 廣東工(gong)業大學 | 暨南大(da)學 | 中國地質(zhi)大學 |
湖(hu)南農業(ye)大學 | 湖(hu)北理(li)工學院(yuan) | 太原理工大學 | 黃淮學(xue)院 |
北京大學 | 中國石油大學（北(bei)京） | 天津理工(gong)大學 | 中山大學 |
樂山師(shi)范學院 | 云南大(da)學(xue) | 四川理(li)工大學 | 沈(shen)陽航空(kong)航天大學 |
大 學
西安航天165所 | 中(zhong)科院生態環境所 | 中科院金屬研究(jiu)所 | 中電科技集團(tuan)13所 |
紹(shao)興技(ji)術監督檢測(ce)院 | 錫礦山(shan)閃星銻業 | 四川新材料(liao)研究中心 | 中電科技集團49所 |
中國(guo)建筑(zhu)科院(yuan)研(yan)究院(yuan) | 重慶鋼鐵研(yan)究所 | 上海應(ying)用物理所(suo) | 長(chang)春應用化學研究所(suo) |
山西煤炭化學研究所 | 航(hang)天推進技術研究所 | 上海硅(gui)酸鹽研究(jiu)所(suo) | 廣州能源研究所(suo) |
四川材(cai)料與工(gong)藝研究所 | 北方涂料工業研究設(she)計院有(you)限公司 | ||
科研單(dan)位
江西吉陽(yang)集團 | 內蒙古(gu)天(tian)宇集團 | 佳(jia)英特能源材料公(gong)司 |
北(bei)京東(dong)旭集團 | 新(xin)疆(jiang)慶華能源集團 | 山東通用光伏能源有限公司 |
青(qing)島韓亞重(zhong)工 | 安(an)徽天康(kang)集團 | 河北(bei)神通光電科技有限(xian)公司(si) |
日照華(hua)軒新(xin)能源有限公司 | 清(qing)美(mei)通(tong)達鋰(li)能科技有限公司 | 成都登特牙科技術(shu)開發有限公司 |
常州樂奧醫療科(ke)技有限公司 | 邦迪(di)管(guan)路系統（上(shang)海）有限公(gong)司(si) | 溫州(zhou)天球電器有限公司 |
凱銳眾(zhong)成金剛石工(gong)具有限公司 | 中聯(lian)科(ke)偉達技術(shu)股(gu)份有限公(gong)司 | 三鑫重工機(ji)械設(she)備有限公司 |
遼寧錦州金(jin)屬有限公(gong)司 | 青海新型建材工貿有限公司 | 惠州拓普金屬材料有限公司 |
AEM科技（蘇州）有限公(gong)司 | 深(shen)圳(zhen)雙德先進(jin)陶(tao)瓷(ci)有限公司(si) | 唐(tang)山華運鐵路交通器材有限(xian)公司 |
上(shang)海合全藥業(ye)股(gu)份有限公司 | 東莞大(da)洲(zhou)電(dian)子材料有(you)限公(gong)司(si) | 慈溪大旗機械科技(ji)有限公(gong)司 |
蘇州邁(mai)眾注塑系統有(you)限公司 | 東莞邁(mai)科(ke)科(ke)技有限(xian)公司 | 蘇州大洋精鍛有限公司 |
天(tian)津索克汽車試驗有限(xian)公司 | 蘇州太智機(ji)電有限公司(si) | 上(shang)海鐵(tie)高國(guo)際貿(mao)易有限公司 |
黃(huang)石滬士電子有限公司 | 株(zhu)洲冶煉集團股份有限公司 | 貴州皓天光電(dian)科技有(you)限(xian)公司 |
哈(ha)爾濱(bin)亞源電力有限公司 | 馬爾精密量儀（蘇州）有限公司 | 湖(hu)南元素密(mi)碼烯高科技有限公司 |
中(zhong)山(shan)翔江(jiang)精密光學有限公司 | 天(tian)通控(kong)股(gu)股(gu)份有限(xian)公司(si) | 上海超(chao)硅(gui)半導體有限公司(si) |
蘇州海鉑晶體有限(xian)公司(si) | 晶(jing)能(neng)光電（江西）有限公司(si) | 唐山晶源電子有限公(gong)司 |
青島嘉星晶電科技有限公司(si) | 常(chang)州(zhou)好利來光電(dian)科技(ji)有限公司(si) | 三安光電股(gu)份(fen)有(you)限公(gong)司 |
